SPC技术在高纯四氟化硅生产中的应用
【出 处】：
SPC
四氟化硅
控制图
过程能力指数
【作 者】：
李丹丹
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李翔宇
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郑秋艳
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张净普
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孙秋丽
【摘 要】本文以高纯SiF4生产过程中精馏后的HF含量作为质量管理的对象，论述SPC技术在SiF4生产质量控制中的初步应用。
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